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Mikromotoren prozesssicher herstellen - Durch eine Verfahrenskombination aus Mikrosystemtechnik und Mikroumformen lassen sich Kleinstmotoren zuverlässig herstellen (2010)

Kuhfuß, B. ; Allers, S.:

Industrie Management, Schwerpunktheft Nano- und Mikrotechnologie, Ausgabe 6/2010; Hrsg.: Prof. Dr.-Ing. B. Scholz-Reiter, Verlag GITO mbH, Verlag für industrielle Informationstechnik und Organisation, Berlin

Abstract

Mit den Prozessen und Verfahren der Mikrosystemtechnik wird eine Vielzahl von Mikrosensoren und -aktoren hergestellt. Diese Technologie ist jedoch durch das Aufschichten von Ebenen limitiert, wodurch keine echten 3D-Strukturen aufgebaut werden können. Diese Einschränkung wird durch die Kombination mit einem nachgelagerten Mikroumformprozess überwunden. Auf diese Weise ist es möglich, die Statorspulen für einen Mikromotor mit einem Gehäusedurchmesser von lediglich 4 mm kostengünstig und prozesssicher herzustellen.